Hamamatsu 光譜干涉法非接觸式厚度測(cè)量裝置 C15151 - 01 技術(shù)參數(shù)詳解

一、測(cè)量原理與技術(shù)優(yōu)勢(shì)

二、測(cè)量范圍與精度

• 厚度測(cè)量范圍 ：該裝置的厚度測(cè)量范圍廣泛，對(duì)于不同類型的薄膜材料，可測(cè)量的厚度范圍有所不同。一般來說，對(duì)于常見的透明薄膜，其測(cè)量范圍在幾納米至數(shù)百微米之間，能夠滿足從超薄膜到較厚鍍膜的多種測(cè)量需求。例如，在半導(dǎo)體制造過程中，對(duì)于僅有幾納米厚的氧化層等超薄膜層的厚度測(cè)量，C15151 - 01 能夠精準(zhǔn)地提供測(cè)量數(shù)據(jù)，確保工藝質(zhì)量控制的精確性。
• 測(cè)量精度 ：C15151 - 01 的測(cè)量精度高，其厚度測(cè)量精度可達(dá) ±0.1% 以內(nèi)。這一高精度水平使其在對(duì)薄膜厚度控制要求苛刻的工藝環(huán)節(jié)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。以光學(xué)鍍膜行業(yè)為例，在高精度光學(xué)鏡片的鍍膜過程中，薄膜厚度的微小誤差可能會(huì)對(duì)鏡片的光學(xué)性能產(chǎn)生顯著影響，而 C15151 - 01 的高精度測(cè)量能夠有效保障鍍膜厚度的一致性和穩(wěn)定性，從而確保產(chǎn)品的光學(xué)質(zhì)量。

三、測(cè)量速度與穩(wěn)定性

• 測(cè)量速度 ：C15151 - 01 具備快速測(cè)量能力，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成對(duì)樣品厚度的測(cè)量。通常情況下，單次測(cè)量時(shí)間在毫秒級(jí)至秒級(jí)之間，這使得設(shè)備能夠在生產(chǎn)線等需要快速檢測(cè)的環(huán)境中高效運(yùn)行。例如，在高速半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)線上，C15151 - 01 可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)芯片表面的薄膜厚度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)厚度偏差并反饋給生產(chǎn)控制系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整，大大提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品合格率。
• 穩(wěn)定性 ：該裝置在長時(shí)間運(yùn)行過程中表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性。得益于其高品質(zhì)的光學(xué)元件和先進(jìn)的信號(hào)處理系統(tǒng)，C15151 - 01 能夠在連續(xù)工作數(shù)小時(shí)甚至更長時(shí)間的情況下，保持測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性和可靠性。這對(duì)于一些需要持續(xù)監(jiān)測(cè)薄膜厚度變化的科研實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)過程來說至關(guān)重要，確保了數(shù)據(jù)的連續(xù)性和準(zhǔn)確性，為后續(xù)的分析和決策提供了堅(jiān)實(shí)依據(jù)。

四、樣品適應(yīng)性與環(huán)境要求

• 樣品適應(yīng)性 ：C15151 - 01 對(duì)樣品的適應(yīng)性較強(qiáng)，除了對(duì)傳統(tǒng)的平面樣品進(jìn)行厚度測(cè)量外，還能夠?qū)哂幸欢ㄇ实那鏄悠愤M(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。其靈活的測(cè)量探頭設(shè)計(jì)和可調(diào)節(jié)的測(cè)量角度，使其能夠適應(yīng)各種復(fù)雜形狀的樣品，如光學(xué)透鏡、電子元件的曲面鍍膜等，滿足了不同行業(yè)和應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化測(cè)量需求。
• 環(huán)境要求 ：該設(shè)備對(duì)環(huán)境條件具有一定的適應(yīng)性，但為了保證最佳的測(cè)量性能，建議在相對(duì)穩(wěn)定的環(huán)境條件下使用。通常要求環(huán)境溫度在 20℃ ±5℃，相對(duì)濕度在 40% - 60% 之間，并且應(yīng)避免強(qiáng)烈的電磁干擾和振動(dòng)。在潔凈的環(huán)境下使用，有助于延長設(shè)備的使用壽命和確保測(cè)量精度。

五、接口與數(shù)據(jù)處理

• 接口類型 ：C15151 - 01 配備了多種標(biāo)準(zhǔn)接口，如 USB 接口、以太網(wǎng)接口等，方便與計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等外部設(shè)備進(jìn)行連接。這使得測(cè)量數(shù)據(jù)可以快速傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備進(jìn)行進(jìn)一步的分析和處理，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)共享和遠(yuǎn)程監(jiān)控。
• 數(shù)據(jù)處理能力 ：與之配套的數(shù)據(jù)處理軟件功能強(qiáng)大，能夠?qū)y(cè)量得到的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行快速分析和處理，自動(dòng)計(jì)算出薄膜厚度以及相關(guān)的光學(xué)參數(shù)，并以直觀的圖表和數(shù)據(jù)報(bào)表形式展示給用戶。同時(shí)，軟件還具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢索和導(dǎo)出功能，便于用戶對(duì)歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行管理和分析，為生產(chǎn)工藝的優(yōu)化和質(zhì)量控制提供有力的數(shù)據(jù)支持。