日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量 AP250/AP500 特點介紹

AP250、AP500是適合半導體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制部（相當于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

　另外，外部附有壓力傳感器，傳感器的信號輸入到氣動控制部分，控制氣動控制組中的閥門的開/關，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器部分中圓頂?shù)膬?nèi)部壓力。 ，并自動控制外殼壓力以匹配任何設定壓力值。也可通過外接流量傳感器作為流量控制器使用。

AP250的最大控制流量為5001/min，AP500的最大控制流量為2000L/min，兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

　對于壓力接頭，AP250 與 1/2" VCR 兼容，AP500 與 3/4" SWAG 或 3/4" VCR 等效件兼容。對于真空中使用，請使用等效的清潔氣體或惰性氣體作為導體。與所有氣體包括 、腐蝕性氣體和危險氣體。

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量 AP250/AP500 規(guī)格參數(shù)

模型 AP250 AP500 

主要用途 用于 FPD、燃料電池 用于 FPD、燃料電池 

目標氣體 N2、空氣、H2等 N2、空氣、H2等 

入口壓力 999kPa以下 999kPa以下 

耐壓性 小于1500kPa 小于1500kPa 

壓力設置 用顯示設定裝置設定 用顯示設定裝置設定 

控制方式 穹頂內(nèi)氣動控制 穹頂內(nèi)氣動控制 

控制壓力 0～500kPa 0～500kPa 

最大流量 500升/分鐘 2000升/分鐘 

響應時間 1秒達到設定值 1秒達到設定值 

輸入信號 0~5VDC 連續(xù)/關閉 0~5VDC 連續(xù)/關閉 

RS485 RS485 

外部傳感器輸入 （4-20mA標準） （4-20mA標準）